5 asu frēzēti keramikas izolatori pusvadītāju iekārtām un tīrtelpām

Pusvadītāju ražošanas un tīrtelpu vides augsta līmeņa pasaulē katram komponentam ir jānodrošina nevainojama veiktspēja.PFT, mēs specializējamies rokdarbos5 asu frēzēti keramikas izolatorikas no jauna definē precizitāti un uzticamību. Ar vairāk nekā 20Pateicoties daudzu gadu pieredzei, mūsu risinājumi ir izstrādāti, lai atbilstu pusvadītāju iekārtu stingrajām prasībām, nodrošinot termisko stabilitāti, elektrisko izolāciju un darbību bez piesārņojuma īpaši jutīgos apstākļos.

Kāpēc izvēlēties mūsu 5 asu frēzētos keramikas izolatorus?

1.Uzlabotas ražošanas iespējas

Mūsu iestāde ir aprīkota armodernākās 5 asu CNC frēzmašīnas, nodrošinot mikronu līmeņa precizitāti, veidojot tādus progresīvus keramikas izstrādājumus kā alumīnija oksīds (Al₂O₃), silīcija karbīds (SiC) un alumīnija nitrīds (AlN). Atšķirībā no tradicionālajām metodēm, 5 asu apstrāde ļauj izveidot sarežģītas ģeometrijas, kas ir kritiski svarīgi tādiem komponentiem kā vafeļu pacelšanas tapas, nogulsnēšanas kameras daļas un plazmas izturīgi izolatori.

Galvenās iezīmes:

•Precizitāte:±0,005 mm pielaide nemanāmai integrācijai ASML litogrāfijas instrumentos vai Lam Research kodināšanas sistēmās.
•Materiāla daudzpusība:Optimizēts 99,8 % alumīnija oksīdam, augstas tīrības pakāpes SiC un citiem progresīviem keramikas veidiem.
•Virsmas apdare:Ra <0,2 μm, lai samazinātu daļiņu veidošanos ISO 1. klases tīrtelpās.

2.Patentēta procesu inženierija

Mūsu inženieri ir izstrādājušislēgtas cilpas procesa vadībakas apstrādes laikā pielāgojas keramikas trauslumam. Apvienojot sausās frēzēšanas metodes ar vibrāciju slāpēšanu reāllaikā, mēs panākam virsmas bez plaisām un pagarinātu detaļu kalpošanas laiku — pat ekstremālos termiskos ciklos (līdz 1600 °C).

Inovāciju uzmanības centrā:

•Stresa mazināšanas protokoli:Samaziniet AlN izolatoru mikroplaisas CVD lietojumos.
•Apstrāde pēc apstrādes:HIP (karstā izostatiskā presēšana) uzlabo blīvumu un izturību pret koroziju.

3.Stingra kvalitātes nodrošināšana

Katrs izolators tiek pakļauts12 posmu pārbaude, tostarp:

•CMM (koordinātu mērīšanas iekārta)kritisko dimensiju validācija.
•Hēlija noplūdes pārbaudevakuuma saderības labad.
•EDS (enerģijas dispersijas rentgenstaru spektroskopija)lai pārbaudītu materiāla tīrību.

MūsuISO 9001/14001 sertificēta sistēmaNodrošina izsekojamību no izejvielu iegādes (no pirmā līmeņa piegādātājiem, piemēram, CoorsTek) līdz galīgajam iepakojumam.

Lietojumi: kur precizitāte satiekas ar veiktspēju

Mūsu izolatoriem uzticas:

•Kodināšanas un nogulsnēšanas instrumenti:Ar SiC pārklāti komponenti plazmas izturībai Applied Materials™ moduļos.
•Jonu implanti:Alumīnija oksīda pacelšanas tapas ar antistatiskiem pārklājumiem, lai novērstu vafeļu slīdēšanu.
•Metroloģijas sistēmas:EUV litogrāfijas posmiem paredzēti izolatori ar zemu termisko izplešanos.

Gadījuma izpēte:Vadošais pusvadītāju oriģinālo iekārtu ražotājs (OEM) samazināja instrumentu dīkstāves laiku par 40 % pēc pārejas uz mūsu īpaši izstrādātajām SiC dušas galviņām, kas pārspēja konkurentu detaļas 300 mm plākšņu apstrādē.

Vairāk nekā ražošana: partnerības pieeja

•Ātrā prototipēšana:Iesniedziet savus CAD failus un saņemiet funkcionējošus prototipus 7 dienu laikā.
•Tīrtelpas iepakojums uz vietas:Papildus pieejama 10. klases tīrtelpas montāža tiešai instrumentu integrācijai.
•Mūža tehniskais atbalsts:Mūsu inženieri sniedz nodiluma analīzes un atkārtotas apstrādes pakalpojumus, lai pagarinātu detaļu kalpošanas laiku.